Macchina di rivestimento di polverizzazione del magnetron di MF PVD, sistema per media frequenza di polverizzazione


Polverizzazione del magnetron

Che cosa è La tecnologia di polverizzazione del magnetron?
Il magnetron che polverizza è Un altro modulo della tecnologia del rivestimento di PVD

Rivestimento del plasma
Il magnetron che polverizza è Un processo del rivestimento del plasma per cui il materiale di polverizzazione è Espelso dovuto il bombardamento degli ioni alla superficie dell'obiettivo. L'alloggiamento di vuoto della macchina di rivestimento di PVD è Riempito di gas inerte, quale l'argon. Applicando una tensione, uno scarico di incandescenza è Creato, con conseguente accelerazione degli ioni alla superficie dell'obiettivo e ad un rivestimento del plasma. Gli argon-ioni espelleranno i materiali di polverizzazione dalla superficie dell'obiettivo (polverizzare), con conseguente strato ricoprente polverizzato sui prodotti davanti all'obiettivo

Polverizzazione reattiva
Spesso un gas supplementare quali azoto o acetilene è Usato, che reagiranno con il materiale espelso (polverizzazione reattiva). Una vasta gamma dei rivestimenti polverizzati è Realizzabile con questa tecnica del rivestimento di PVD. La tecnologia di polverizzazione del magnetron è Molto conveniente per il rivestimento decretive (nitruri per esempio del Ti, del Cr, dello Zr e del carbonio), a causa della sua natura regolare. Lo stesso vantaggio rende la polverizzazione del magnetron ampiamente usata per il rivestimento tribologico nei servizi automobilistici (per esempio CrN, Cr2N e varie combinazioni con il rivestimento di DLC - diamante come il rivestimento del carbonio).



Campi magnetici
Il magnetron che polverizza è In qualche modo differente dalla tecnologia generale di polverizzazione. La differenza è Che la tecnologia di polverizzazione del magnetron usa i campi magnetici per mantenere il plasma davanti all'obiettivo, intensificante il bombardamento degli ioni. Un plasma altamente denso è Il risultato di questa tecnologia del rivestimento di PVD

La tecnologia di polverizzazione del magnetron è Caratterizzata vicino:
Un obiettivo raffreddato ad acqua, in modo da poco calore di radiazione è Generato
Quasi tutto il materiale di obiettivo metallico può Essere polverizzato senza decomposizione
I materiali Non-conductive possono essere polverizzati usando la radiofrequenza (RF)
O potere (MF) per media frequenza
I rivestimenti dell'ossido possono essere polverizzati (polverizzazione reattiva)
Uniformità Eccellente di strato
Rivestimenti polverizzati molto lisci (nessun goccioline)
I catodi (di lunghezza di fino a 2 tester) possono essere messi in tutta la posizione, quindi su
Flessibilità Della progettazione delle attrezzature di polverizzazione

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Industrie applicate:

Metallizzazione sotto vuoto di superficie per il watch& Clock, i monili, gli strumenti, la plastica, lo strato ecc. Dell'acciaio inossidabile









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